隨著人們對(duì)各種設(shè)備小型化、集成化、多功能化要求的不斷提高,微傳感器的開發(fā)和利用越來越受到人們的重視。現(xiàn)在微傳感器已成為最基本的電子元器件,且被廣泛地應(yīng)用在航空航天、生命科學(xué)工業(yè)自動(dòng)化、環(huán)境保護(hù)、家用電器汽車、行業(yè)農(nóng)業(yè)等各個(gè)領(lǐng)域,可毫不夸張地說 ,對(duì)微傳感器的使用已經(jīng)滲透到我們生活中的各個(gè)方面。
傳感器的日益小型化、 集成化,很大程度上得益于微機(jī)械加工技術(shù)的進(jìn)步。伴隨著微機(jī)械加工技術(shù)的出現(xiàn),微機(jī)械傳感器應(yīng)運(yùn)而生, 這種新型的傳感器與經(jīng)典的傳感器相比,具有體積小、易集成、成本低、功耗小、速度快、可靠性高以及精度高等特點(diǎn)。把這種傳感器與集所全全信仙人全機(jī)，而智能傳感器是本世紀(jì)傳感器技術(shù)發(fā)展的主要方向,因此,對(duì)微機(jī)械加工型智能傳感器的研究,已經(jīng)成為國內(nèi)外傳感器研究的熱點(diǎn)。
微機(jī)械加工型智能傳感器的發(fā)展, 首要的便是基于微機(jī)械加工的技術(shù)特點(diǎn)和工藝特點(diǎn)。這主要是順應(yīng)未來傳感器的微型化和集成化,低功耗和低成本,高精度和長壽命,多功能和智能化的需求。而微機(jī)械與集成電路以及微機(jī)械與光路和集成電路的一體化集成，能充分滿足上述要求。因此微機(jī)械加工型智能傳感器的發(fā)展在某種程度上代表了未來傳感器的發(fā)展趨勢(shì)。
