利用壓電材料制成的力敏傳感器相對(duì)于硅壓阻式力敏傳感器來(lái)說(shuō)具有以下突出優(yōu)點(diǎn):
第一,用PN結(jié)隔離的電阻只能用在80℃以下溫度,質(zhì)量較好的壓阻式力敏傳感器可使用到120~150℃。但是壓電式力敏傳感器可在250℃的高溫下使用,甚至可用于燃燒廢氣壓力或流量的測(cè)量。
第二,壓電式力敏傳感器有很高的固有頻率和較低的噪聲,因此頻率響應(yīng)快。另外它的靈敏度比較高,所以可用于測(cè)量快的壓力變化場(chǎng)合,如可測(cè)量爆炸時(shí)的沖擊波壓力。
第三,壓電式力敏傳感器是一種發(fā)電式的傳感器,它不需要外加額外工作電源,而是通過(guò)壓電效應(yīng)所產(chǎn)生的電荷或電壓的放大測(cè)量轉(zhuǎn)換為壓力、加速度振動(dòng)等物理量,這樣就可避免使用外加電源所帶來(lái)的噪聲的影響。
壓電式力敏傳感器的基本原理是利用壓電材料的壓電效應(yīng)做成的。壓電式力敏傳感器既有用于測(cè)力的,也有用于力的其他導(dǎo)出參數(shù)如加速度等力學(xué)量的測(cè)量。
