柵式數字傳感器主要有光柵和磁柵兩種,它們廣泛用于測量位移以及與位移有關的非電物理量。
根據柵式數字傳感器的工作原理,可分為光柵和磁柵兩種。光柵是由很多等節距的透光縫隙和不透光的刻線均勻相間排列構成的光電器件。按其原理和用途 ,它又可分為物理光柵和計量光柵。物理光柵是利用光的衍射現象制造的,主要用于光譜分析和光波長等量的測量。計量光柵主要利用莫爾(Moire)現象 ,測量長度、角度、速度、加速度振動等物理量。計量光柵按應用范圍不同又分為透射光柵和反射光柵兩種,具體制作時又可制作成線位移的長光柵和角位移的圓光柵。
按光柵的表面結構,又可分為幅值光柵和相位(閃耀 )光柵等。幅值光柵是利用照相復制工藝加工成柵線與縫隙為黑白相間結構,故又稱為黑白光柵。相位光柵的橫斷面呈鋸齒狀,常用刻劃工藝加工。除了上述光柵外,目前還研制了激光全息光柵和偏振光柵等新型光柵。
磁柵是一種磁電轉換器,其工作原理類似錄音帶。
