電阻真空計(jì)又稱皮喇尼(Pirani)真空計(jì)，是測(cè)量低真空的相對(duì)真空計(jì)。它的測(cè)量范圍一般為<10?~10ˉ1Pa。隨著電阻式規(guī)管的改進(jìn)(如對(duì)流導(dǎo)熱結(jié)構(gòu))，測(cè)量上限擴(kuò)展到10? Pa。
電阻真空計(jì)主要由電阻式規(guī)管和測(cè)量電路兩部分組成，電阻式規(guī)管(圖2-33)是在管殼內(nèi)封裝著一條電阻溫度系數(shù)較大的電阻絲，常用的是如?0.025~0.1mm鎢絲或鉑絲。測(cè)量時(shí)，規(guī)管與被測(cè)真空系統(tǒng)相接。在較低壓力下，熱電阻絲的電阻值取決于其周圍氣體的壓力。
電阻真空計(jì)的測(cè)量電路，根據(jù)測(cè)量要求，其結(jié)構(gòu)有定壓式電路、定流式電路及定溫式電路三種。
(1)定壓式電路：維持熱絲的加熱電壓不變，測(cè)量流過(guò)熱絲的電流來(lái)作為壓力的指示；
(2)定流式電路：維持熱絲的加熱電流不變，測(cè)量熱絲兩端的電壓來(lái)作為壓力的指示；
(3)定溫式電路：維持熱絲的加熱溫度不變(也就是電阻不變)，測(cè)量熱絲的輸人功率來(lái)作為壓力的指示。如果從電路的角度來(lái)看，定壓式電路和定流式電路并沒(méi)有本質(zhì)上的區(qū)別。
